La ZNIEFF « Combes dolomitiques du Mas Vieil » se situe au nord du département de l'Hérault, sur le causse du Larzac. Elle englobe un ensemble rocheux dolomitique de 290 hectares, à l'ouest du Caylar et de l'Autoroute A75. Son altitude est compriss entre 700 et 800 mètres.
Le périmètre de la ZNIEFF est bordé à l'est par l'Autoroute la Méridienne, à hauteur du Caylar. Au nord, il passe à travers le causse, au niveau des Martinières, puis au-dessus du Roc de Servières et longe le gros des formations rocheuses, et les limites de parcelles à l'est et au sud.